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直线电机－推力－波动力学－研究
2017年
2017
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有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法
本文以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深...
2017.10
按中图号分类
中图号G634
25127
中图号G624
14837
中图号G613
5354
中图号I247.5
5295
中图号I287.8
4943
中图号I267
3960
中图号I227
3556
中图号G613.2
1863
中图号G613.3
1739
中图号G624.243
1631
中图号I287.45
1532
中图号G624.203
1532
中图号J222.7
1527
中图号G898.2
1484
中图号I287.7
1459
中图号G634.413
1413
中图号I712.85
1368
中图号G624.565
1246
中图号G613.7
1242
中图号G634.303
1232
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