出版社:清华大学出版社
年代:2014
定价:68.0
本书全面系统介绍三维集成技术的发展历史、制造实现技术、设计技术以及电学和力学可靠性等相关问题,以从事相关研究开发工作的需求出发,以三维集成实现技术作为线索,深入介绍三维互连制造技术、三维集成方法、三维集成策略、三维集成的电磁学问题、三维集成的热力学及可靠性,以及三维集成的检测与三维集成应用等内容,既包括实现三维集成的主流技术方法,也包括三维集成领域的最新进展。
三维集成技术将多层集成电路芯片堆叠键合,通过穿透衬底的三维互连实现多层之间的电信号连接。三维集成技术可以降低芯片功耗,减小互连延时,提高数据传输带宽,并为实现复杂功能的SoC提供了可能。作为与工艺节点无关的新技术,三维集成具有极为广泛的应用,近年来受到了微电子领域的高度重视。本书较为全面地介绍了三维集成技术的重点和前沿领域,包括三维集成制造技术、集成方法、集成策略、热力学理论、可靠性问题、测试技术等,并介绍了多种应用及一些新技术的发展趋势。本书可供高等院校微电子、电子、封装、微机电系统、力学、机械工程、材料等专业的高年级本科生、研究生和教师使用,也可供相关领域的工程技术人员参考。