微系统光学检测技术

译丛序言译者序前言第1章 用于MEMS测试的图像处理和计算机视觉 1．1 概述 1．2 任务分类 1．3 图像处理和计算机视觉元件 1．3．1 光、颜色和滤波器的行为 1．3．2 照明 1．3．3 透镜系统 1．3．4 传感器 1．4 图像数据的处理与分析 1．4．1 计算机视觉过程 1．4．2 图像数据预处理和处理方法 1．4．3 图像数据分析方法 1．4．4 解决测试任务 1．5 商业与非商业的图像处理和计算机视觉软件 1．6 用于光学计量中条纹图案的图像处理技术 1．7 结论 参考文献第2章 微系统检测用图像的相关技术 2．1 概述 2．2 用数字图像相关(DIC)技术的变形测量法 2．2．1 数字微图像的互相关算法 2．2．2 位移和应变场的提取 2．2．3 确定衍生性质 2．2．4 功能与限制 2．2．5 有限元(FE)仿真与DIC方法的结合 2．3 DIC应用中的基本设备 2．3．1 测量系统元件 2．3．2 对高分辨率扫描显微镜的要求 2．3．3 软件工具 2．4 DIC技术在微系统中的应用 2．4．1 微元件的应变分析 2．4．2 缺陷检测 2．4．3 有限元模型验证 2．4．4 材料性质测量 2．4．5 微裂纹评估 2．4．6 基于AFM微图的三维变形分析 2．4．7 确定微元件中的残余应力 2．5 总结与展望 参考文献第3章 微组件和微结构光散射检查技术 3．1 概述 3．2 光散射的理论背景 3．3 测量装置 3．4 光散射法的标准化 3．5 微元件和微结构检查应用 3．6 光散射技术和轮廓测量技术组合 3．7 结论和展望 参考文献第4章 原子力显微镜表征及测量微元件 4．1 概述 4．2 AFM部件及工作原理 4．2．1 探针 4．2．2 扫描器 4．2．3 控制器 4．2．4 探测、输入信号、设置点与错误信号 4．2．5 Z反馈回路 4．3 AFM成像模式 4．3．1 一次AFM成像模式 4．3．2 二次AFM成像模式 4．4 AFM非成像模式 4．5 AFM用于微组件检查——案例研究 4．6 原子力轮廓仪(AFP)——AFM和触针轮廓仪的组合 4．7 AFM的补充光学测量技术 4．8 结论与展望 参考文献第5章 MEMS测量用光学轮廓测量技术 5．1 概述 5．2 共焦显微镜术原理 5．2．1 共焦点传感器……第6章 微测量用栅格法和莫尔法第7章 微零件面内位移和应变测量的光栅干涉法第8章 微系统特性的干涉显微检测技术第9章 用激光多谱勒测振技术测量运动中的MEMS第10章 一种用于MEMS和MOEMS离面变形进行静态、准静态和动态评价的干涉测量平台第11章 试验电子封装和MEMS的光电子全息术第12章 数字全息术及其在MEMS/MOEMS检测方面的应用第13章 微系统的散斑测量法第14章 MEMS检测的光谱技术

微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。本书内容丰富，覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。　　本书是微纳米检测领域一本不可多得的参考书，适合从事微纳制造、微系统检测的科技人员、高等院校相关研究方向的师生参考使用。