书籍简介:

本教材简要介绍了半导体器件基本结构、半导体器件工艺的发展历史、半导体材料基本性质及半导体制造中使用的化学品，以典型的CMOS管的制造实例为基础介绍了集成电路的制造过程及制造过程中对环境的要求及污染的控制。重点介绍了包括清洗、氧化、化学气相淀积、金属化、光刻、刻蚀、掺杂、平坦化几大集成电路制造工艺的工艺原理工艺过程，工艺设备、工艺参数、质量控制及工艺模拟的相关内容。

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	9787111507574 如需购买下载《半导体制造工艺》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	机械工业出版社
版次	2版	印次	1
定价(元)	34.0	语种	简体中文
尺寸	26 × 19	装帧	平装
页数	252	印数	2000

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书籍信息归属:

半导体制造工艺是机械工业出版社于2015.8出版的中图分类号为 TN305 的主题关于半导体工艺－高等职业教育－教材的书籍。