书籍简介:

本书是面向从事材料合成与制备领域的科研工作者、工程技术人员和研究生（高年级本科生）介绍原子层沉积技术－原理及其应用，分为十一章，既有原子层沉积的发展历史、基本原理、特点和种类，又涉及原子层沉积的前驱体和生长材料，也包含了原子层沉积的理论模拟和等离子增强的原子层沉积技术，最后又着重突出了原子层沉积在不同领域的应用。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	原子层沉积技术站内查询相似图书
丛书名	南京大学材料科学与工程系列丛书
	9787030483751 如需购买下载《原子层沉积技术》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	科学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	98.0	语种	简体中文
尺寸	24 × 17	装帧	平装
页数	382	印数

全网搜索试读资源

书籍信息归属:

原子层沉积技术是科学出版社于2016.6出版的中图分类号为 TB3 的主题关于原子－沉积－技术－高等学校－教材的书籍。