微机电系统（MEMS）工艺基础与应用

书籍简介:

本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念和发展现状及趋势、力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀、包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀，表面微加工工艺的基本原理及其常用材料，硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素，LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法；在工艺基础上介绍了传感器和执行器的基本原理、应用范围及其工艺流程；最后就MEMS在军事、医疗、汽车方面的应用及对MEMS器件实现检测的方法加以介绍。适合于微电子专业本科生和研究生学习MEMS工艺时使用。

书籍规格:

书籍信息归属:

微机电系统（MEMS）工艺基础与应用是哈尔滨工业大学出版社于2015.1出版的中图分类号为 TM38 的主题关于 微电机－高等学校－教材 的书籍。