半导体微系统制造技术

书籍简介:

本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各向异性腐蚀、电钝化腐蚀、自停止腐蚀方法的比较、非晶薄膜的腐蚀与表面微加工、静电键合技术、 硅热键合技术、掺杂、平坦化等几个主要微系统制造工艺，具体到每一道工艺中都详细讲述了工艺的基本原理、工艺的操作过程，力求把当前比较新的工艺介绍给读者。

书籍规格:

书籍信息归属:

半导体微系统制造技术是机械工业出版社于2015.5出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子学－高等学校－教材 的书籍。