出版社:机械工业出版社
年代:2015
定价:34.0
本书根据微电子机械系统的发展趋势,主要介绍了常用的微系统制作工艺,并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各向异性腐蚀、电钝化腐蚀、自停止腐蚀方法的比较、非晶薄膜的腐蚀与表面微加工、静电键合技术、 硅热键合技术、掺杂、平坦化等几个主要微系统制造工艺,具体到每一道工艺中都详细讲述了工艺的基本原理、工艺的操作过程,力求把当前比较新的工艺介绍给读者。
书籍详细信息 | |||
书名 | 半导体微系统制造技术站内查询相似图书 | ||
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出版地 | 北京 | 出版单位 | 机械工业出版社 |
版次 | 1版 | 印次 | 1 |
定价(元) | 34.0 | 语种 | 简体中文 |
尺寸 | 26 × 19 | 装帧 | 平装 |
页数 | 300 | 印数 | 2000 |
半导体微系统制造技术是机械工业出版社于2015.5出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子学-高等学校-教材 的书籍。