书籍简介:

本书的内容包括：针对45 nm节点投影光刻物镜的应用, 开展了工作波长为193 nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜, 并对两个设计方案的优劣进行对比分析, 选择了同轴式结构作为最终的设计方案，等等。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	高数值孔径投影光刻物镜的光学设计站内查询相似图书
	9787567417892 如需购买下载《高数值孔径投影光刻物镜的光学设计》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	哈尔滨	出版单位	东北林业大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	98.0	语种	简体中文
尺寸	24 × 17	装帧	平装
页数		印数

书籍信息归属:

高数值孔径投影光刻物镜的光学设计是东北林业大学出版社于2019.5出版的中图分类号为 TH74 的主题关于投影光刻物镜－光学设计的书籍。