书籍简介:

本书介绍了微电子器件衬底材料性能、加工工艺与测试技术。全书共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。

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书籍详细信息
书名	微电子技术工程站内查询相似图书
丛书名	微电子技术系列丛书
	9787120000219 《微电子技术工程》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	北京	出版单位	电子工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	59.0	语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数		印数	5000

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微电子技术工程是电子工业出版社于2004.09出版的中图分类号为 TN4 的主题关于微电子技术的书籍。