书籍简介:

第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件，如线圈和磁芯，形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。第8章介绍了MEMS发电机的工作原理。第9章重点介绍了MEMS的尺度燃烧。

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书籍详细信息
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	9787118105438 如需购买下载《MEMS多晶圆旋转机械》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	国防工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	120.0	语种	简体中文
尺寸	24 × 17	装帧	平装
页数		印数

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书籍信息归属:

MEMS多晶圆旋转机械是国防工业出版社于2016.6出版的中图分类号为 TM38 的主题关于微电机的书籍。