精密光学元件先进测量与评价
出版社：科学出版社
年代：2014
定价：60.0
书籍简介:
本书主要针对精密光学元件检测原理与技术进行了全面、详细的介绍，并且追踪了最新的科技前沿技术的原理与应用，紧扣实际应用需求，对检测过程中的关键技术进行了研究。首先对光学元件的质量评价标准做了详细的介绍，包括表面面形误差评价标准、亚表面损伤的评价以及光学元件均匀性的评价。之后，对干涉检测原理与国际上前沿技术进行了介绍，特别是相移干涉技术、动态干涉技术等。对补偿法检测非球面，主要介绍了光学补偿器和计算全息补偿器，对其设计原理、制作工艺、装调技术进行了详细的介绍与分析。其后，对子孔径拼接技术的原理进行了介绍，对关键的拼接算法进行了详细的研究，搭建了测量平台，并在实际工程中获得了很好的应用。轮廓测量与结构光测量技术也是本书的重点之一，其在粗糙表面面形测量中有着十分重要的作用。最后，对亚表面的损失测量做了介绍与研究。全书共分为八章。第一章对光学元件检测做了概述，并提出了光学元件质量的各种评价指标。
书籍目录:
前言第1章绪论1.1概述1.2光学元件质量评价1.2.1表面质量评价1.2.2亚表面质量评价1.3干涉测量基础知识1.3.1干涉原理1.3.2典型干涉测量结构第2章子孔径拼接轮廓测量2.1概述2.2圆形子孔径拼接2.2.1拼接原理2.2.2拼接算法2.3环形子孔径拼接2.3.1孔径划分2.3.2拼接原理2.3.3拼接算法2.4广义子孔径拼接2.4.1广义环形子孔径拼接算法2.4.2计算机模拟2.5子孔径拼接优化算法2.5.1调整误差分量及其波像差2.5.2环形子孔径拼接优化模型2.5.3仿真研究2.6测量系统2.6.1SSI-300子孔径检测平台2.6.2实验研究2.7超大口径拼接检测2.7.1方案设计2.7.2拼接算法2.8小结参考文献第3章接触式轮廓测量3.1概述3.2测量理论基础3.2.1测量原理3.2.2坐标系和坐标变换3.2.3检测路径3.2.4二次曲面系数研究3.2.5离轴镜测量模型3.3测量系统3.3.1测头系统3.3.2系统设计3.4误差分析3.4.1误差源分类3.4.2固有误差3.4.3随机调整误差3.4.4接触力诱导误差3.4.5高阶像差误差分析3.5小结参考文献第4章结构光轮廓测量4.1概述4.2基于结构光原理的测量方法4.2.1傅里叶变换轮廓术4.2.2相位测量轮廓术4.2.3莫尔测量轮廓术4.2.4卷积解调法4.2.5调制度测量轮廓术4.3测量系统及其标定4.3.1结构光三维测量系统4.3.2系统参数标定4.3.3快速标定方法4.4位相展开算法4.4.1位相展开的基本原理4.4.2空间位相展开方法4.4.3时间位相展开方法4.4.4光栅图像采集与预处理4.5测量误差分析4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析4.5.2非线性误差矫正方法4.6小结参考文献第5章亚表面损伤检测5.1概述5.2亚表面损伤产生机理与表征5.2.1产生机理5.2.2表征方法5.3亚表面损伤检测技术5.3.1破坏性检测5.3.2非破坏性检测5.4工艺试验5.4.1亚表面损伤的测量5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联5.4.3损伤抑制策略5.5小结参考文献第6章其他测量技术6.1移相干涉测量技术6.2动态干涉测量技术6.3剪切干涉6.4点衍射干涉6.5白光干涉测量技术6.6外差干涉测量技术6.7补偿法检测非球面6.8计算全息法检测非球面参考文献
内容摘要:
《精密光学元件先进测量与评价》可作为高等院校光学工程等专业高年级本科生和研究生的教材，也可供相关领域的科研人员和工程人员参考。《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 《精密光学元件先进测量与评价》分为6章，第1章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6章介绍了其他相关的光学测量方法。
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