书籍简介:

稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工序能力指数，常规过程控制技术，特殊过程控制技术，实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。

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	9787561259535 如需购买下载《半导体制造工艺控制理论》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	西安	出版单位	西北工业大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	48.0	语种	简体中文
尺寸	26 × 19	装帧	平装
页数		印数

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半导体制造工艺控制理论是西北工业大学出版社于2018.4出版的中图分类号为 TN305 的主题关于半导体工艺的书籍。