真空获得设备
真空获得设备封面图

真空获得设备

杨乃恒, 主编

出版社:冶金工业出版社

年代:2014

定价:35.0

书籍简介:

本书主要内容包括:液环式真空泵;往复式真空泵;旋片式油封机械泵;罗茨式真空泵;涡旋式真空泵;其他类型真空泵等。介绍了真空机结构以及加热与测温装置,真空设备的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、磁控溅射均匀性等方面的设计与计算。本书实用性强,适合真空获得设备的应用等与真空获得设备技术有关的行业从事设计、设备操作与维护的技术人员以及相关专业师生的教材与参考书。

内容摘要:

《真空获得设备(第2版)》系统地介绍了各种真空泵的分类、性能、工作原理、结构特点、设计计算以及流行测量方法等内容。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787502425722
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出版地北京出版单位冶金工业出版社
版次2版印次4
定价(元)35.0语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数 1000
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书籍信息归属:

真空获得设备是冶金工业出版社于2005.9出版的中图分类号为 TB75 的主题关于 真空获得设备 的书籍。