脉冲激光沉积类金刚石膜技术
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脉冲激光沉积类金刚石膜技术

程勇, 等编著

出版社:科学出版社

年代:2017

定价:128.0

书籍简介:

全书共七章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手,阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点,以及类金刚石膜的测试与表征;详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响,偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术;针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题,展现了多功能激光沉积系统,阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验;最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用,展望了该技术未来发展趋势和前景。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787030515513
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出版地北京出版单位科学出版社
版次1版印次1
定价(元)128.0语种简体中文
尺寸24 × 17装帧精装
页数 324 印数

书籍信息归属:

脉冲激光沉积类金刚石膜技术是科学出版社于2017.1出版的中图分类号为 TB43 的主题关于 脉冲(力学)-激光淀积-应用-类金刚石膜-研究 的书籍。