出版社:科学出版社
年代:2017
定价:128.0
全书共七章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手,阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点,以及类金刚石膜的测试与表征;详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响,偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术;针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题,展现了多功能激光沉积系统,阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验;最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用,展望了该技术未来发展趋势和前景。
书籍详细信息 | |||
书名 | 脉冲激光沉积类金刚石膜技术站内查询相似图书 | ||
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出版地 | 北京 | 出版单位 | 科学出版社 |
版次 | 1版 | 印次 | 1 |
定价(元) | 128.0 | 语种 | 简体中文 |
尺寸 | 24 × 17 | 装帧 | 精装 |
页数 | 324 | 印数 |
脉冲激光沉积类金刚石膜技术是科学出版社于2017.1出版的中图分类号为 TB43 的主题关于 脉冲(力学)-激光淀积-应用-类金刚石膜-研究 的书籍。