气相沉积应用技术

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前言

第1篇气相沉积技术基础及各种气相沉积技术

第1章气相沉积技术概述

1气相沉积技术分类

2气相沉积技术特点

3气相沉积技术应用

第2章化学气相沉积技术

1绪言

2化学气相沉积物理化学基础

2.1CVD反应方式

2.2CVD反应条件

2.3CVD反应过程

3化学气相沉积热力学分析

4化学气相沉积反应物质源

4.1气态物质源

4.2液态物质源

4.3固态物质源

5化学气相沉积涂层质量影响因素

5.1沉积温度

5.2沉积室压力

5.3反应气体分压(配比)

6化学气相沉积装置

6.1CVD装置基本构成

6.2负压CVD装置主要性能简要说明

7高温化学气相沉积技术

7.1HT―CVDD硬质涂层种类和性能

7.2HT―CVD工艺技术

8中温化学气相沉积(MT―CVD)技术

8.1MT―CVD反应机理

8.2MT―CVD工艺过程及设备

8.3MT―CVD沉积TiCN涂层组织结构及特性

8.4高性能涂层材料及其沉积工艺技术

8.5高性能涂层硬质合金刀具组织结构及特性

参考文献

第3章物理气相沉积技术

1物理气相沉积技术概论

1.1物理气相沉积分类

1.2物理气相沉积的特点

2物理气相沉积技术基础

2.1物理气相沉积相关的真空物理基础

2.2低温等离子体物理基础

3物理气相沉积技术

3.1真空蒸发镀

3.2离子镀

3.3电子枪蒸发源二极型离子镀

3.4热阴极离子镀

3.5射频离子镀

3.6集团离子束离子镀3.7活性反应离子镀

3.8空心阴极离子镀

3.9热丝弧枪离子镀

3.10电弧离子镀

3.11磁控溅射镀

3.12离子束及其在气相沉积方面的应用

参考文献

第4章等离子体增强化学气相沉积技术

1等离子体增强化学气相沉积技术机理

2等离子气体产生过程及性质

2.1多原子分子具有平动、旋转和振动自由度

2.2分解

2.3电离

3等离子体化学反应过程

4等离子体增强化学气相沉积装置

5等离子体增强化学气相沉积工艺过程及特点

5.1PECVD211艺过程

5.2PECVDI艺特点

5.3采用直流脉冲PECVD技术是硬质涂层的主要发展方向

6等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征

6.1等离子体增强化学气相沉积涂层类型

6.2等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征

参考文献

第5章气相沉积设备

1化学气相沉积设备系统

1.1CVD涂层设备系统主要技术指标

1.2CVD涂层设备系统各部分功能及设计要求

1.3典型生产用CVD涂层设备

2等离子体增强低温化学气相沉积设备

2.1直流脉冲电源特性

2.2等离子体增强化学气相沉积设备

3物理气相沉积设备及配套系统

3.1真空室

3.2真空获得与真空泵

3.3进气系统

3.4真空测量

3.5气相沉积技术中的电源

参考文献

第6章预处理主要辅助设备

1清洗

2刃口强化

2.1刃口强化作用

2.2刃口强化工艺及设备

3喷砂

参考文献

第7章膜层质量测试

1膜层质量测试内容

2性能检验

2.1膜层硬度测量

2.2膜层厚度测量2.3膜层附着力测试

2.4膜层内应力测试

3膜层的微区检测

3.1显微组织形貌分析

3.2膜层的晶体结构分析

3.3膜层成分分析

参考文献

第2篇气相沉积技术应用领域

第1章气相沉积技术在硬质涂层中的应用

1硬质涂层制品在机械工业中的应用

1.1机械工业发展对涂层工具、模具性能的要求

1.2硬质涂层工具的作用

1.3涂层工模具所占市场份额

2新型硬质涂层的发展趋势

2.1新的金属陶瓷硬质涂层

2.2多元复合涂层

2.3多层复合涂层

2.4纳米复合涂层

2.5纳米晶.非晶复合涂层

2.6非金属超硬涂层

3硬质涂层制品应用

3.1硬质涂层切削工具的应用

3.2硬质涂层模具及耐磨损、耐腐蚀零件应用

4不同硬质涂层的实用沉积工艺技术

4.1硬质合金刀具典型CVD实用工艺技术

4.2高速钢刀具PVD实用工艺技术

4.3模具PECVD实用工艺技术

5非金属超硬涂层沉积技术

5.1金刚石涂层的沉积技术及应用

5.2立方氮化硼涂层的沉积技术及应用

5.3氮化碳涂层气相沉积技术及应用

5.4纳米级涂层和纳米超硬多层

复合涂层沉积技术及应用

参考文献

第2章气相沉积技术在防护涂层方面的应用

1防护涂层的作用

1.1防护涂层性能

1.2获得防护涂层的方法

1.3用气相沉积技术获得防护涂层的独特性

2耐腐蚀涂层

2.1防腐涂层的种类

2.2气相沉积技术耐腐蚀层的应用领域

2.3防腐蚀层的气相沉积技术

3热障涂层

3.1热障涂层的组成

3.2热障涂层的气相沉积技术

参考文献

第3章气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用

1光学薄膜的应用领域

1.1光学薄膜的应用范围1.2光学薄膜的功能

2光学薄膜特性

2.1在不同媒质界面上光的反射

2.2减反膜(增透膜)

2.3反射膜

2.4截止滤光片

2.5选择吸收膜

3光学薄膜的气相沉积技术

3.1减反膜(增透膜)的沉积工艺

3.2反射膜的沉积工艺

3.3选择吸收膜的沉积工艺

4光学防伪薄膜

4.1防伪技术的现状与薄膜防伪技术的发展

4.2防伪膜的基本理论

4.3整膜防伪膜的设计与工艺举例

4.4碎膜防伪技术要点

参考文献

第4章气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用

1建筑镀膜玻璃的功能

2普通玻璃的光学性能

3镀膜玻璃的遮阳隔热原理

3.1阳光控制膜

3.2低辐射率膜

3.3阳光控制膜和低辐射率膜的材料

4智能窗玻璃

4.1智能窗玻璃的应用

4.2智能窗玻璃的种类

4.3各种智能薄膜变色的机制

4.4.智能窗玻璃薄膜的沉积工艺

5防雾防露和自清洁玻璃.

5.1防雾防露和自清洁玻璃的功能

5.2光催化机理

5.3防雾防露和自清沽玻璃的沉积工艺

参考文献

第5章气相沉积技术在太阳能利用领域的应用.

1太阳能――取之不尽的能源

2太阳能光一热转换

2.1太阳光谱选择性吸收

2.2太阳能的光.热转换能效薄膜

2.3太阳能集热器

2.4太阳光谱选择吸收薄膜的沉积技术

2.5太阳能热水器合成

3气相沉积技术在太阳能光.伏转换领域中的应用

3.1太阳能光.电转换

3.2太阳能光一电转换薄膜

3.3太阳能光一电转换薄膜的沉积技术

4太阳能电池的应用实例

参考文献

第6章气相沉积技术在集成电路制造中的应用

1集成电路高集成化发展方向1.1集成电路在高新技术中的应用

1.2集成电路的高集成化

2集成电路类型

2.1集成电路

2.2分立器件电路

3集成电路组成

3.1有源器件――包括晶体管的器件

3.2无源元件

4集成电路加工工艺

4.1氧化工艺

4.2刻蚀.光刻工艺

4.3掺杂.离子注入

4.4互连布线的沉积和刻蚀

5分立器件电路的加工

5.1薄膜电阻器

5.2薄膜电容器

5.3薄膜网络器件

5.4薄膜温度传感器

5.5薄膜气敏传感器

5.6高温超导薄膜

5.7发光器件

参考文献

第7章气相沉积技术在信息显示器件中的应用

1信息显示器件的应用

2信息显示器件的种类

2.1阴极射线管(CRT)

2.2平板显示器

3平板显示器件用薄膜

3.1各种平板显示器的工作原理及相关薄膜

3.2平板显示器薄膜的气相沉积技术

参考文献

第8章气相沉积技术在信息存储领域的应用

1信息存储技术的进展

2信息存储的类型与存储薄膜

2.1磁信息存储

2.2磁光信息存储

2.3全光信息存储

3超高密度信息存储材料

3.1科学技术发展进入了纳米电子器件新时代

3.2超高密度信息存储材料

4纳米区内电荷存储技术

参考文献

第9章气相沉积技术在装饰饰品上的应用

1装饰品给人们五彩缤纷的生活

1.1装饰件底材

1.2装饰薄膜种类

2金属基材装饰膜的沉积

2.1金属基材装饰品的应用领域

2.2金属基材制件对装饰膜层的要求

2.3金属件装饰膜的沉积工艺3塑料件装饰膜的沉积

3.1塑料镀膜的应用领域

3.2塑料制品对装饰膜层的要求

3.3塑料制品装饰膜的真空镀膜工艺

3.4塑料镀膜中的底漆、面漆

4真空卷绕镀膜技术

4.1真空卷绕镀膜技术应用领域

4.2真空卷绕镀膜技术的设备分类

4.3真空卷绕镀膜设备的结构特征

4.4真空蒸发卷绕镀膜设备的组成

4.5真空磁控溅射卷线镀膜设备结构

4.6泡沫塑料镀镍

参考文献

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　　本书是一部关于气相沉积技术的实用专著，全书分气相沉积技术基础及各种气相沉积技术和气相沉积技术应用领域两大部分详细介绍了相关内容，本书适合从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者及高校相关专业学生学习。　　本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。