书籍简介:

本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。

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	9787811332384 《微机电系统与微细加工技术》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	哈尔滨	出版单位	哈尔滨工程大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	24.0	语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数	228	印数	1000

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微机电系统与微细加工技术是哈尔滨工程大学出版社于2008.07出版的中图分类号为 TM38 ,TG66 的主题关于微电机－系统 ,特种加工－技术的书籍。