先进传感技术

总序前言第1章传感器概论1.1人体感官与传感器1.1.1人的外化1.1.2人的体外进化1.1.3人体感官的外化与体外进化1.1.4师法自然与仿生传感器1.2传感器的分类、构成与发展动向1.2.1传感器的分类1.2.2传感器的构成1.2.3传感器的发展动向参考文献第2章传感器材料2.1电学功能材料2.1.1导电材料2.1.2绝缘材料2.1.3半导体材料2.2磁学功能材料2.2.1磁性材料2.2.2有机磁体2.2.3磁电材料2.3光学功能材料2.3.1透光材料和导光材料2.3.2发光材料2.3.3激光材料2.3.4光调制用材料2.3.5光电材料2.4热功能材料2.4.1热电材料2.4.2磁热材料2.4.3高温材料2.5生物体功能材料2.5.1生物材料2.5.2仿生材料2.6特殊功能材料2.6.1复合功能材料2.6.2纳米材料2.6.3隐身材料2.6.4聪明材料和智能材料参考文献第3章传感器工艺3.1去除加工3.1.1腐蚀工艺3.1.2牺牲层技术3.2附加加工3.2.1镀膜工艺3.2.2光刻技术3.2.3LIGA技术3.3辅助工艺3.3.1黏结3.3.2共晶键合3.3.3玻璃密封3.3.4阳极键合3.3.5冷焊3.3.6钎焊3.3.7硅—硅直接键合3.3.8微装配3.4封装技术3.4.1芯片级封装3.4.2圆片级封装3.4.3系统级封装3.5质量控制3.5.1微测试技术3.5.2可靠性技术3.6洁净室参考文献第4章微传感器设计、建模与仿真4.1微传感器设计4.1.1尺度效应4.1.2微传感器动力学4.2微传感器建模4.2.1相似等效法4.2.2分析力学建模4.2.3耦合场建模4.3微传感器仿真4.3.1MEMS CAD软件4.3.2SolidWorks软件4.3.3Comsol，Ansys，MATLAB软件4.3.4Zemax，TracePro，OptisWorks软件参考文献第5章硅电容式微传感器5.1典型传感器结构及工作原理5.1.1微型硅加速度计5.1.2硅集成压力传感器5.1.3CMOS集成电容湿度传感器5.2设计、建模与仿真5.2.1硅微加速度传感器设计5.2.2硅集成压力传感器设计5.2.3等效电学模型5.3典型接口电路5.3.1CAV系列接口电路5.3.2XE2004接口电路5.4检测与质量保证5.4.1加速度计的静态校准5.4.2硅压力传感器的可靠性测试参考文献第6章谐振式传感器6.1常用的激振、拾振方法6.1.1静电激振与静电拾振6.1.2电磁激振与拾振6.1.3压电激振与拾振6.1.4电热激振与压阻拾振6.1.5光激振与拾振6.2谐振式加速度传感器6.2.1振梁型谐振加速度计6.2.2静电刚度式谐振微加速度计6.2.3DETF谐振式微加速度计6.3谐振式压力传感器6.3.1硅谐振式压力微传感器6.3.2石英谐振式压力传感器6.3.3振弦式称重传感器6.4谐振式微机械陀螺6.4.1工作原理及理论公式6.4.2理论分析参考文献第7章声表面波传感器7.1叉指换能器7.1.1基本结构7.1.2声表面波激励7.1.3基本分析模型7.2SAW传感器的结构及等效电路7.2.1延迟线型结构7.2.2谐振器型结构7.2.3SAW器件等效电路7.2.4SAW传感器封装7.2.5SAW传感器测量方法7.3典型SAW传感器7.3.1SAW加速度传感器7.3.2SAW压力传感器7.3.3SAW温度传感器7.3.4SAW无源无线传感器参考文献……第8章薄膜传感器第9章隧道传感器第10章光学传感器第11章图像传感器第12章智能传感器第13章化学传感器第14章生物传感器

《中国科学技术大学精品教材先进传感技术》的主要内容包括：国内外先进传感技术现状及发展趋势，先进传感材料，微传感器制造技术，传感器建模新方法，传感器设计、仿真及其工具软件等新概念、新思想和新知识，以及国内外典型先进传感器的材料特性、结构特点、原理分析和设计方法。