硅单晶抛光片的加工技术
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硅单晶抛光片的加工技术

张厥宗, 编著

出版社:化学工业出版社

年代:2005

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书籍简介:

本书介绍了电子材料硅单晶片的加工、特性、测试等。

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书籍详细信息
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9787502572242
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出版地北京出版单位化学工业出版社
版次1版印次1
定价(元)语种简体中文
尺寸20装帧平装
页数印数 5000
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书籍信息归属:

硅单晶抛光片的加工技术是化学工业出版社于2005.06出版的中图分类号为 TN305.2 的主题关于 半导体材料-硅-抛光-加工工艺 的书籍。