现代传感器原理和应用

前言

第1章绪论

1．1传感器和现代科技

1．2传感器的定义和分类

1．3传感器的构成

1．4传感器技术的发展趋势和方向

第2章传感器特性与评价

第3章传感器功能材料

第4章微细加工技术

第5章传感器的基本物理原理、效应和器件

第6章物理传感器及主要物理量检测

第7章化学传感器

第8章生物传感器

第9章传感器的集成化、智能化和网络化

第10章传感器的系统集成

第11章微机电系统发展的动向

参考文献

　　本书描述了传感器微电子机械系统的全貌，对传感器技术进行了全面的介绍，涵盖了传感器原理、材料、微加工技术、微传感器、微执行器、微系统集成及其重要的应用等内容。本书既注重传感器的基本概念、原理和效应以及典型器件的阐述，又引入了传感器新发展的内容，特别是引入了传感器微系统、智能传感器和网络传感器的新发展，以加深读者对传感器技术的理解，并为读者开拓了此领域的新视野。它不仅是相关专业的研究生和本科生的良好的教材，也是从事传感器研究、开发和应用的科技人员的高质量的参考书。　　本书既注重传感器的基本原理和效应，又兼顾传感器的新发展，阐述了和传感器密切相关的传感器的主要支撑技术，如微纳技术、微细加工和传感器功能材料的一些基本概念和内容。主要内容包括：传感器特性与评价，传感器功能材料，微细加工技术，传感器的基本物理原理、效应和器件，物理传感器及主要物理量检测，化学传感器，生物传感器，传感器的集成化、智能化和网络化，传感器的系统集成，微机电系统发展的动向。　　本书可供电子信息、仪器仪表、生物医学工程、测控技术、机电一体化、计算机应用等专业的本科生、研究生作为教材，也可供从事传感器研究、开发和应用的工程技术人员参考。