NEMS传感器的研制与应用
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NEMS传感器的研制与应用

谭苗苗, 著

出版社:冶金工业出版社

年代:2017

定价:28.0

书籍简介:

微机电系统(MEMS)具有体积小、成本低、易于集成和批量生产等优点,在信息、军事、医疗、汽车、航天等领域有广泛的应用。近年来,随着纳米材料和结构研究的深入,将纳米材料、纳米结构和纳米加工与MEMS相结合,形成了一个新的研究方向纳机电系统(NEMS)。本书通过涉及物理、化学、生物、材料、电子、机械等多门学科,讲述了利用纳米材料/结构表现出的独特的力、电、热、光、磁等性能进行新型纳传感器件的研究逐渐成为NEMS研究的一个热点。从纳米材料的新效应和新性质出发,可以实现新功能或突破常规器件的性能极限,实现具有新原理或高性能(如高灵敏度、低功耗、低噪声)的纳米器件和系统。

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书籍详细信息
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9787502474423
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出版地北京出版单位冶金工业出版社
版次1版印次1
定价(元)28.0语种简体中文
尺寸24 × 17装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

NEMS传感器的研制与应用是冶金工业出版社于2017.1出版的中图分类号为 TM7 的主题关于 机电系统-传感器-研究 的书籍。