书籍简介:

本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。

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书籍详细信息
书名	微机电系统设计与制造站内查询相似图书
丛书名	光机电一体化丛书
	9787502552374 《微机电系统设计与制造》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	北京	出版单位	化学工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)		语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数		印数	4000

微机电系统设计与制造是化学工业出版社于2004.03出版的中图分类号为 TM38 ,TH-39 的主题关于微电机的书籍。