长脉冲激光对单晶硅的损伤机制仿真研究

书籍简介:

本书是对长脉冲激光损伤单晶硅的全过程进行分阶段建立热-应力、熔蚀、燃烧波理论模型。在理论模型的基础上，建立长脉冲激光损伤单晶硅的热-应力仿真模型、熔蚀仿真模型和激光支持燃烧波仿真模型，激光工作方式为单脉冲和脉冲串两种。构建长脉冲激光损伤单晶硅的温度测量系统、应力在线测量系统，燃烧波运动形态测量系统。实验与仿真研究结果对比，两方面研究结果的规律基本一致，仿真模型可以合理的描述长脉冲激光损伤单晶硅的过程。

书籍规格:

书籍信息归属:

长脉冲激光对单晶硅的损伤机制仿真研究是东北师范大学出版社于2019.5出版的中图分类号为 TN304.053 的主题关于 半导体材料－单晶拉制－激光损伤－仿真模型－研究 的书籍。