谐振式传感器

第1章 谐振式传感器的基础理论

1.1 概述

1.2 谐振现象

1.3 谐振式传感器的基本结构及闭环系统实现

1.3.1 传感器的基本结构

1.3.2 闭环系统的时域分析

1.3.3 闭环系统的复频域分析

1.4 谐振式传感器的敏感机理

1.4.1 传感器的输出方式

1.4.2 测量机理的讨论

1.5 谐振敏感元件的机械品质因数

1.5.1 机械品质因数定义及内涵

1.5.2 对传感器闭环系统的影响

1.5.3 提高机械品质因数的措施

1.6 谐振式传感器的动态特性

第1章 谐振式传感器的基础理论

1.1 概述

1.2 谐振现象

1.3 谐振式传感器的基本结构及闭环系统实现

1.3.1 传感器的基本结构

1.3.2 闭环系统的时域分析

1.3.3 闭环系统的复频域分析

1.4 谐振式传感器的敏感机理

1.4.1 传感器的输出方式

1.4.2 测量机理的讨论

1.5 谐振敏感元件的机械品质因数

1.5.1 机械品质因数定义及内涵

1.5.2 对传感器闭环系统的影响

1.5.3 提高机械品质因数的措施

1.6 谐振式传感器的动态特性

1.6.1 阶跃特性

1.6.2 正弦周期特性

1.7 谐振式传感器输出信号的检测方法

1.7.1 频率输出

1.7.2 相位差输出

1.7.3 幅值比输出

1.8 谐振式传感器的设计要点

1.9 谐振式传感器的特征与优势

1.10 谐振弹性敏感元件的材料

1.10.1 精密恒弹合金

1.10.2 单晶硅

1.10.3 熔凝石英

1.10.4 压电石英晶体

思考题

第2章 谐振式压力传感器

2.1 概述

2.2 基本工作原理

2.3 谐振弦式压力传感器

2.3.1 结构与原理

2.3.2 频率特性方程

2.3.3 激励方式

2.4 谐振膜式压力传感器

2.4.1 结构与原理

2.4.2 频率特性方程

2.5 电磁激励谐振筒压力传感器

2.5.1 结构与原理

2.5.2 频率特性方程

2.5.3 激励方式

2.5.4 特性线性化与误差补偿

2.6 压电激励谐振筒压力传感器

2.6.1 结构与原理

2.6.2 压电激励特性

2.6.3 检测信号的转换

2.6.4 稳定的单模态自激系统的实现

2.6.5 双重模态的有关问题

2.7 石英振梁压力传感器

2.7.1 结构与原理

2.7.2 频率特性方程

2.8 谐振式硅微结构压力传感器

2.8.1 结构与原理

2.8.2 频率特性方程

2.8.3 信号转换过程

2.8.4 梁谐振敏感元件的温度场模型与热特性分析

2.8.5 闭环系统

2.9 具有差动输出的谐振式硅微结构压力传感器

2.9.1 结构与原理

2.9.2 频率特性方程

2.9.3 算例与分析

思考题

第3章 谐振式惯性传感器

3.1 概述

3.2 基本工作原理

3.3 石英振梁式加速度传感器

3.4 谐振式硅微结构加速度传感器

3.5 压电激励谐振式圆柱壳角速率传感器

3.5.1 传感器的结构

……

第4章 谐振式直接质量流量传感器

第5章 声表面波谐振式传感器

《谐振式传感器》讨论了谐振式传感器所涉及的共性基础理论和几种有代表性的谐振式传感器：谐振式压力传感器、谐振式加速度传感器、谐振式角速率传感器、谐振式直接质量流量传感器和声表面波谐振式传感器等。
　　《谐振式传感器》可供仪器科学与技术、控制科学与工程、机械工程等学科领域的研究生、高年级本科生，以及工程技术人员参考。