多晶硅生产技术

书籍简介:

本教材主要讲述改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程，主要包括三氯氢硅的合成、精馏提纯，三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容，同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。教材紧密结合生产实践，注重理论与实践的有机结合。

书籍规格:

书籍信息归属:

多晶硅生产技术是化学工业出版社于2019.11出版的中图分类号为 TN304.1 的主题关于 半导体材料－硅－生产技术－高等职业教育－教材 的书籍。