MEMS传感器接口ASIC集成技术

第1章 引言

1.1 MEMS集成传感器

1.2 MEMS传感器接口电路集成技术特点及发展现状

1.2.1 主要技术特点

1.2.2 国内外发展趋势

参考文献

第2章 微加速度计接口ASIC集成技术

2.1 电容式加速度计接口电路

2.1.1 电容式微加速度计的工作原理

2.1.2 电容式加速度计接口电路

2.1.3 哈尔滨工业大学设计的闭环电容式加速度计接口电路

2.2 集成压阻式加速度计接口电路

2.2.1 压阻式加速度计的工作原理

2.2.2 压阻式加速度计接口ASIC

2.3 集成压电式加速度计接口电路

2.3.1 压电式加速度计工作原理

2.3.2 压电式加速度计接口电路

2.4 集成谐振式加速度计接口电路

2.4.1 谐振式加速度计工作原理

2.4.2 谐振式加速度计接口电路

2.5 集成热对流武加速度计接口电路

2.5.1 热对流加速度计的工作原理

2.5.2 热对流加速度计接口电路

2.6 集成多轴加速度计接口电路

参考文献

第3章 微机械陀螺接口ASIC集成技术

3.1 硅微机械陀螺

3.1.1 微机械陀螺等效电学模型

3.1.2 接口电路原理

3.1.3 PCB混合集成电路

3.2 石英微机械陀螺接口ASIC

3.2.1 石英微机械陀螺基本原理

3.2.2 石英微机械陀螺接口电路

3.3 典型集成微陀螺产品及应用

3.3.1 ADXRS300

3.3.2 ADXRS614

参考文献

第4章 磁传感器接口ASIC集成技术

4.1 各向异性磁阻传感器

4.1.1 各向异性磁阻传感器原理

4.1.2 各向异性磁阻接口ASIC电路

4.2 巨磁阻传感器

4.2.1 巨磁阻传感器原理

4.2.2 巨磁阻传感器接口ASIC

4.3 巨磁阻抗传感器

4.3.1 巨磁阻抗传感器原理

4.3.2 巨磁阻抗传感器接口ASIC

4.4 磁通门传感器

4.4.1 磁通门传感器原理

4.4.2 等效电学模型

4.4.3 磁通门传感器接口ASIC

参考文献

第5章 MEMS压力传感器等接口ASIC集成技术

5.1 集成压力传感器

5.1.1 集成压力传感器分类

5.1.2 集成压力传感器结构及工作原理

5.1.3 压力传感器接口电路

5.1.4 典型集成压力传感器产品及应用

5.1.5 国外各大公司集成压力传感器部分产品一览

5.2微（型）麦克风

5.2.1 常见麦克风的种类

5.2.2 MEMS微麦克风

5.2.3 电容式麦克风的工作原理

5.2.4 微麦克风接口电路

5.2.5 典型产品及应用

5.3 MEMS红外传感器及接口电路

5.3.1 MEMS红外传感器工作原理

5.3.2 接口电路及单片集成

参考文献

《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：MEMS传感器接口ASIC集成技术》首先介绍了以微纳米惯性器件芯片级集成为代表的ME：MS集成传感器的起源、技术特点、国内外的发展状况；然后叙述了MEMS集成压力传感器，MEMS加速度计接口ASIC芯片及其集成化技术，MEMS陀螺接口ASIC芯片及其芯片级集成技术，MEMS磁传感器、微传声器（麦克风）、热红外传感器等的接口ASIC芯片设计及其芯片级集成技术。《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：MEMS传感器接口ASIC集成技术》非常适合高等院校相关专业的师生和从事MEMS集成传感器研究的工程技术人员阅读，同时对从事MEMS传感器应用开发与生产的工程技术人员和管理决策者都有重要参考价值。