书籍简介:

对可靠性的研究是MEMS惯性器件发展中的一项瓶颈技术，本书对MEMS惯性器件的典型结构进行了系统的失效模式与影响因素的研究。没有对MEMS失效的具体研究，就无法实现MEMS的大规模的商业化生成和应用。本书对MEMS中的典型结构进行了大量的理论分析的，并提出失效分析的方法和理论。又以具体科研项目中所使用的加速度计、陀螺仪这样的常用器件为例进行的模拟仿真验证。

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书籍详细信息
书名	MEMS惯性器件典型结构失效模式站内查询相似图书
	9787118072280 如需购买下载《MEMS惯性器件典型结构失效模式》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	国防工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	35.0	语种	简体中文
尺寸	20 × 14	装帧	精装
页数	175	印数

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书籍信息归属:

MEMS惯性器件典型结构失效模式是国防工业出版社于2012.5出版的中图分类号为 TN965 的主题关于微电子技术－惯性元件－研究的书籍。