等离子体放电与材料工艺原理
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等离子体放电与材料工艺原理

(美) 力伯曼 (Lieberman,M.A.) , (美) 里登伯格 (Lichtenberg,A.J.) , 著

出版社:电子工业出版社

年代:2016

定价:119.0

书籍简介:

本书反映了等离子体物理相关领域最新的研究进展,深入阐述了等离子体物理和化学的基本原理。书中应用基本理论来分析各种常见等离子体源的放电状态,包括计算等离子体参数及分析等离子体参数与控制参数的相关关系。本书还讨论了半导体材料的刻蚀,薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,具有实际参考价值。全书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。

书籍规格:

书籍详细信息
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丛书名经典译丛
9787121280221
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出版地北京出版单位电子工业出版社
版次1版印次1
定价(元)119.0语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

等离子体放电与材料工艺原理是电子工业出版社于2018.1出版的中图分类号为 O53 ,O461 的主题关于 等离子体-放电 的书籍。