基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用

书籍简介:

本书介绍了应用COMSOL Multiphysics有限软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以MEMS典型建模实例内容及其参考文献，图文并茂。概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysics软件中MEMS建立模型的基本过程。以六个典型模型为蓝本，详细介绍了MEMS建模的一般方法。介绍了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和过程。

书籍规格:

书籍信息归属:

基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用是冶金工业出版社于2007.07出版的中图分类号为 TM38-39 的主题关于 计算机辅助设计－应用软件，COMSOL Multiphysics－应用－微电机－建立模型 的书籍。