功能薄膜及其沉积制备技术
功能薄膜及其沉积制备技术封面图

功能薄膜及其沉积制备技术

戴达煌, 代明江, 侯惠君, 林松盛, 宋进兵, 编著

出版社:冶金工业出版社

年代:2012

定价:99.0

书籍简介:

本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际,概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类,及功能薄膜设计的原则;重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域;在装饰与机械功能薄膜中,讲述了主要膜系、膜层的设计原则,并分别列举了装饰与机械功能膜的典型应用及发展趋势;在物理和特殊功能薄膜中,讲述了微电子、电磁、光学、光电子、集成光学等功能薄膜以及几种特殊的功能薄膜的特点及其典型的应用;最后扼要地介绍了微细加工技术、微机电系统加工的特点、典型器件与系统的新应用等内容。全书内容系统,深入浅出地贯穿了一些新构思、新材料、新器件所实现的工程应用。

书籍目录:

1 绪论

2 功能薄膜的沉积制备方法

3 装饰功能薄膜

4 机械功能薄膜

5 物理功能薄膜

6 特殊功能薄膜

7 材料表面微细加工技术及其在微机电系统中的应用

参考文献

内容摘要:

《功能薄膜及其沉积制备技术》结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际,概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及功能薄膜设计的原则;重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域;在装饰与机械功能薄膜中,讲述了主要膜系、膜系的设计原则,并分别列举了装饰与机械功能膜的典型应用及发展趋势;在物理和特殊功能薄膜中,讲述了微电子、电磁、光学、光电子、集成光学等功能薄膜以及几种特殊的功能薄膜的特点及其典型的应用;最后扼要地介绍了微细加工技术、微机电系统加工的特点、典型器件与系统的新应用等内容。全书内容系统,深入浅出地介绍了一些新构思、新材料、新器件所实现的工程应用。
  《功能薄膜及其沉积制备技术》可供从事材料表面技术与工程、薄膜材料工艺与应用研究、设计、制造、管理的科技人员参考,也可供高等院校材料专业和相近专业师生使用。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787502460266
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出版地北京出版单位冶金工业出版社
版次1版印次1
定价(元)99.0语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数 2000
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书籍信息归属:

功能薄膜及其沉积制备技术是冶金工业出版社于2013.1出版的中图分类号为 TB43 的主题关于 功能材料-薄膜技术 的书籍。