微电子制造技术实验教程

书籍简介:

本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验，同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力，注重实验的操作。

书籍规格:

书籍信息归属:

微电子制造技术实验教程是科学出版社于2015.5出版的中图分类号为 TN4-33 的主题关于 微电子技术－实验－高等学校－教材 的书籍。