微电子制造技术实验教程
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微电子制造技术实验教程

王姝娅, 等编著

出版社:科学出版社

年代:2015

定价:29.0

书籍简介:

本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验,同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力,注重实验的操作。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787030444943
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出版地北京出版单位科学出版社
版次1版印次1
定价(元)29.0语种简体中文
尺寸24 × 17装帧平装
页数 160 印数

书籍信息归属:

微电子制造技术实验教程是科学出版社于2015.5出版的中图分类号为 TN4-33 的主题关于 微电子技术-实验-高等学校-教材 的书籍。