TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器

第1章 气体传感器研究概述

1.1 半导体气体传感器简介

1.2 宽禁带TiO2纳米半导体材料

1.3 国内外TiO2气体传感器的研究进展

1.4 研究的目的及意义

第2章 薄膜特性分析与Si／TiO2异质结构的能带

2.1 TiO2的晶格结构

2.2 氧传感器的薄膜敏感原理

2.3 薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算（一维近似）

2.4 Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构

2.5 Si／TiO2异质结构的能带图

第3章 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制

3.1 氧传感器的基本结构

3.2 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺

3.3 宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制

3.4 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制

第4章 TiO2纳米层壳结构薄膜的制备

4.1 W-TiO2薄膜的制备与分析

4.2 Pt-TiO2薄膜的制备与分析

4.3 TiO2纳米球壳的制备与分析

4.4 TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与sEM分析

第5章 氧传感器性能的测定与分析

5.1 工作温度对基准电流的影响

5.2 环境湿度对基准电流的影响

5.3 输出曲线的测量

5.4 选择性

5.5 响应一恢复时间

参考文献

后记

《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右，结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附，获得优良的气体灵敏度的结构特点。《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》讨论了采用MEMS技术和CMOS工艺相结合制作的Ti02纳米层壳结构薄膜氧传感器，该传感器可利用异质结构电传输及纳米球壳的纳米效应实现O2检测。