新型谐振式传感器优化设计及应用

书籍简介:

本书主要内容包括：谐振式传感器概念、发展现状和基本工作原理、谐振式传感器的理论基础、谐振式传感器敏感元件的优化设计、谐振式传感器测量加速度和谐振式传感器在扫描探针显微镜中的应用研究等。本书系统地介绍谐振式传感器的工作原理，重点突出了该类传感器敏感元件的设计方法和设计过程，通过具体案例（微谐振式加速度计）给出了谐振式传感器的优化设计，通过谐振式传感器在扫描探针显微镜中的应用研究，拓展介绍了谐振式传感器的应用领域知识。

书籍规格:

书籍信息归属:

新型谐振式传感器优化设计及应用是重庆大学出版社于2020.出版的中图分类号为 TH825 的主题关于 谐振传感器－研究 的书籍。