有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法

书籍简介:

本文以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。

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ISBN	9787566117137 如需购买下载《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	哈尔滨	出版单位	哈尔滨工程大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	39.8	语种	简体中文
尺寸	26 × 19	装帧	平装
页数		印数

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书籍信息归属:

有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法是哈尔滨工程大学出版社于2017.10出版的中图分类号为 TM359.4 的主题关于 直线电机－推力－波动力学－研究 的书籍。