纳机电系统

书籍简介:

本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。

书籍规格:

书籍信息归属:

纳机电系统是机械工业出版社于2018.3出版的中图分类号为 TM7 的主题关于 纳米技术－应用－机电系统－研究 的书籍。