现代传感技术

第1章 绪论 1.1 传感技术的地位 1.2 传感技术的发展趋势 思考题与习题 第2章 集成式传感器 2.1 概述 2.2 硅压阻式集成压力传感器 2.3 硅压阻式集成加速度传感器 2.4 硅电容式集成压力传感器 2.5 硅电容式集成加速度传感器 思考题与习题 第3章 谐振式传感器 3.1 概述 3.2 谐振式传感器的基础理论 3.3 谐振式传感器的典型应用

第1章 绪论 1.1 传感技术的地位 1.2 传感技术的发展趋势 思考题与习题 第2章 集成式传感器 2.1 概述 2.2 硅压阻式集成压力传感器 2.3 硅压阻式集成加速度传感器 2.4 硅电容式集成压力传感器 2.5 硅电容式集成加速度传感器 思考题与习题 第3章 谐振式传感器 3.1 概述 3.2 谐振式传感器的基础理论 3.3 谐振式传感器的典型应用 思考题与习题 第4章 光电传感器 4.1 概述 4.2 光电传感器的基本检测原理 4.3 光电传感器的主要性能参数 4.4 ccd阵列传感器 4.5 红外传感器 思考题与习题 第5章 纳米传感器 5.1 概述 5.2 电子隧道传感器的工作原理 5.3 隧道加速度传感器 5.4 原子力纳米结构传感器的检测原理 5.5 碳纳米管质量传感器 思考题与习题 第6章 智能化传感器 6.1 概述 6.2 智能化传感器的实现 6.3 智能化传感器的典型应用 6.4 智能化传感器的发展前景 思考题与习题 第7章 无线传感器网络 第8章 现代传感技术的应用 参考文献

主要围绕现代传感技术的数字化、微型化、智能化、集成化、网络化等重点讨论3部分内容：先进传感器的基础效应和敏感原理；基于先进传感基础效应与机理的先进传感器，如集成式传感器、谐振式传感器、光电传感器、纳米传感器、智能化传感器等；无线传感器网络以及现代传感技术的典型应用。 本书既重视理论分析，又结合实际应用，同时配有适量的思考题与习题，以便于读者掌握和开展深入学习与研究。 本书可作为仪器科学与技术、控制科学与工程、机械工程等学科研究生的教材，也可供相关学科的师生和有关工程技术人员参考使用。