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本书介绍了微电子机械系统的基础知识、主要工艺和器件结构等。

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	9787502581589 《微电子机械系统》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	北京	出版单位	化学工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)		语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数		印数	5000

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微电子机械系统是化学工业出版社于2006.01出版的中图分类号为 TH-39 的主题关于微电子技术－电子机械－机械系统的书籍。