微电子机械系统
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微电子机械系统

姜岩峰, 编著

出版社:化学工业出版社

年代:2006

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书籍简介:

本书介绍了微电子机械系统的基础知识、主要工艺和器件结构等。

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书籍详细信息
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9787502581589
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出版地北京出版单位化学工业出版社
版次1版印次1
定价(元)语种简体中文
尺寸26装帧平装
页数印数 5000
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书籍信息归属:

微电子机械系统是化学工业出版社于2006.01出版的中图分类号为 TH-39 的主题关于 微电子技术-电子机械-机械系统 的书籍。