电子束物理气相沉积制备技术及其应用
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电子束物理气相沉积制备技术及其应用

赫晓东, 等编著

出版社:哈尔滨工业大学出版社

年代:2013

定价:32.0

书籍简介:

本书主要介绍电子束物理气相沉积(EB—PVD)技术的发展及热点;电子束物理气相沉积的相关理论基础;电子束物理气相沉积的工艺方法与理论及电子束物理气相沉积热障涂层技术等内容。本书可供从事电子束物理气相沉积技术的人员作为参考书。

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书籍详细信息
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9787560344867
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出版地哈尔滨出版单位哈尔滨工业大学出版社
版次1版印次1
定价(元)32.0语种简体中文
尺寸23 × 19装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

电子束物理气相沉积制备技术及其应用是哈尔滨工业大学出版社于2013.10出版的中图分类号为 O463 的主题关于 电子束-气相沉积-高等学校-教材 的书籍。