书籍简介:

本书共19章，分为两大部分：第1～9章为技术部分，讨论各类新型微机电系统（MEMS）器件；第10～19章属应用部分，详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。本书各章都具有完整性，既可以单独阅读，也可与其他章节连贯阅读。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	微机电系统（MEMS）站内查询相似图书
丛书名	微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
	9787111649588 如需购买下载《微机电系统（MEMS）》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	机械工业出版社
版次	5版	印次	1
定价(元)	99.0	语种	简体中文
尺寸	26 × 19	装帧	平装
页数	337	印数	2000

微机电系统（MEMS）是机械工业出版社于2020.5出版的中图分类号为 TH-39 的主题关于微机电系统－研究的书籍。