超深亚微米铜互连的失效机理与可靠性概述
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超深亚微米铜互连的失效机理与可靠性概述

杜鸣, 著

出版社:西安出版社

年代:2012

定价:28.0

书籍简介:

本书是专业学术研究性著作,理论联系实际,解决书中所提课题。

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书籍详细信息
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9787805948713
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出版地西安出版单位西安出版社
版次1版印次1
定价(元)28.0语种简体中文
尺寸13 × 10装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

超深亚微米铜互连的失效机理与可靠性概述是西安出版社于2012.5出版的中图分类号为 TN405.97 的主题关于 集成电路工艺-互连工艺 的书籍。