等离子体技术与应用实验教程

第一部分：等离子体基本原理实验

实验一 直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量

实验二 气体击穿电压的测定及帕邢定律验证

实验三 汤森第一电离系数α及比值α/p的测定

实验四 直流辉光放电等离子体参数的测量

实验五 射频等离子体的激发特性研究

实验六 非磁化微波等离子体电子参数的测量

实验七 ECR微波等离子体离子参数的测量

第二部分:等离子体在材料工程中的应用

实验八 微波等离子体化学气相沉积实验--形核研究

实验九 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜实验

实验十 直流等离子体溅射制备碳膜实验

实验十一 微波等离子体烧结氧化铝陶瓷实验

实验十二 微波等离子体冶金实验

实验十三 常压微波等离子体引发聚合实验

实验十四 微波等离子体射流制备纳米硅及其荧光特性研究

实验十五 直流辉光等离子体表面改性实验

实验十六 等离子体渗氮硬化金属表面实验

实验十七 微波等离子体化学气相沉积法低温合成碳纳米管

实验十八 纳米TiO2薄膜的微波等离子体改性

实验十九 空心微珠表面磁控溅射镀金属铜膜

第三部分:等离子体在微电子中的应用

实验二十 ECR微波等离子体刻蚀加工实验

实验二十一 微波等离子体CVD制备多晶硅薄膜太阳能电池实验

实验二十二 等离子体发射光谱分析实验

实验二十三 电子束蒸发镀膜与薄膜光学特性分析

第四部分：等离子体在环境工程中的应用

实验二十四 电晕等离子体处理有机废水的退色实验

实验二十五 电晕等离子体处理对有机废水化学需氧量(COD)的影响

实验二十六 常压微波等离子体射流处理有机工业废气实验

实验二十七 常压微波等离子体射流处理含硫废气实验

实验二十八 低温射频等离子体杀菌消毒实验

《等离子体技术与应用实验教程》内容涵盖等离子体技术典型应用和等离子体技术领域最新进展，把等离子体技术的理论知识与实践教学有机结合起来，设计实验教学体系并配套搭建等离子体技术实验教学平台，培养学生从事科研工作的兴趣，提高学生的创新意识和能力。全书分为四大部分，第一部分为等离子体基本原理实验，第二部分为等离子体在材料工程中的应用，第三部分为等离子体在微电子中的应用，第四部分为等离子体在环境工程中的应用。
　　本书可作为理工科院校材料、物理、化学、环境等相关专业本科生、研究生的实验教材，也可供从事等离子体技术应用的工程技术人员使用和参考。