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本书介绍了微纳米的基本理论，并对MEMS相关工艺作了详尽的介绍。

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	9787030152886 如需购买下载《微纳米技术及其应用》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	科学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	25.0	语种	简体中文
尺寸		装帧	平装
页数	270	印数

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微纳米技术及其应用是科学出版社于2005.05出版的中图分类号为 TB383 的主题关于纳米材料－新技术应用的书籍。