书籍简介:

本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是本书的出发点，为达此目的，本书在内容安排上注意做到基础理论知识和具体技术细节并重，力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。

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书籍详细信息
书名	MEMS技术及应用站内查询相似图书
	9787040504781 如需购买下载《MEMS技术及应用》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	北京	出版单位	高等教育出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	36.0	语种	简体中文
尺寸	26 × 18	装帧	精装
页数		印数	2500

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书籍信息归属:

MEMS技术及应用是高等教育出版社于2018.8出版的中图分类号为 TM38 的主题关于微电机的书籍。