微机电系统应用

译丛序言

译者序

第1章绪论

参考文献

第2章惯性传感器

2.1简介

2.2惯性传感器的应用

2.3加速度的基本概念

2.4直线运动惯性传感器参数

2.5旋转运动的惯性传感器参数

2.6惯性传感器件的微机械加工技术

2.7微加工工艺加工问题

2.8惯性传感器的系统问题

2.9结束语

参考文献

第3章微机械压力传感器：器件、接口电路及性能

3.1简介

3.2器件结构和性能测试

3.3压阻式压力传感器

3.4电容式压力传感器

3.5伺服控制压力传感器

3.6其他压力传感方式

3.7结论

参考文献

第4章表面微加工器件

4.1引言

4.2材料特性和几何结构

4.3应力与应变

4.4机械设计

4.5封装

4.6应用

4.7MEMS失效机理

4.8结论

参考文献

第5章微执行器

5.1引言

5.2压电执行器

5.3电磁驱动器

5.4形状记忆合金驱动器

参考文献

第6章湍流传感器与执行器

6.1绪论

6.2MEMS工艺概述

6.3湍流

6.4用于湍流测量和控制的传感器

6.5用于流动控制的微执行器

6.6微透平机械

6.7结论

参考文献

第7章微机器人技术

7.1引言

7.2什么是微机器人

7.3微机器人的应用环境

7.4微机器人的制造技术

7.5微机器人器件

7.6多机器人系统（微型工厂和桌面工厂）

7.7结论与讨论

参考文献

第8章微型真空泵

8.1引言

8.2基础知识

8.3泵尺度

8.4MEMS真空系统的极限压强和抽气能力

8.5MEMS系统的工作压强和Ⅳ需求

8.6尺度规律综述

8.7新型泵送技术

8.8结论

参考文献

第9章非线性动电器件

9.1引言

9.2非线性动电现象

9.3交流动电现象

9.4小结

参考文献

第10章微液滴发生器

10.1简介

10.2微液滴发生器的工作原理

10.3物理和设计问题

10.4微液滴发生器的制造

10.5液滴产生的特性

10.6应用

10.7结束语

参考文献

第11章微热管和微散热器

11.1概述

11.2单个微热管

11.3微热管阵列

11.4平板微散热器

11.5新设计

11.6概要和结论

参考文献

第12章微通道热沉

12.1绪论

12.2微通道内对流换热的基本原理

12.3微通道内单相对流换热

12.4微通道内两相对流换热

12.5小结

参考文献

第13章流动控制

13.1绪论

13.2一般性原理

13.3“驯悍记”（ThetamingoftheShreu）

13.4湍流控制

13.5抽吸

13.6相干结构

13.7反应式流动控制

13.8磁流体控制

13.9混沌控制

13.10软计算

13.11应用MEMS技术的反应式控制

13.12总结

参考文献

第14章用于边界层减阻的反应式控制

14.1绪论

14.2近壁流向涡

14.3反相控制

14.4基于壁上检测的反应式控制

14.5有源壁运动

14.6结束语

参考文献

第15章自由剪切流的MEMS自主控制

15.1绪论

15.2自由剪切流

15.3剪切层MEMS控制系统组件和问题

15.4三角翼上滚动力矩的控制

15.5超声速射流啸音的控制

15.6低雷诺数翼上分离的控制

15.7对未来的思考

参考文献

　　本书为“国际制造业先进技术译丛”中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识，包括微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉等内容。本书内容新颖，重点突出，详略得当，能理论联系实际，深入浅出，通俗易懂。　　本书是MEMS系列图书中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉、流动控制、用于边界层减阻的反应式控制、自由剪切流的MEMS自主控制。　　本书主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研究人员参考