放电等离子体极紫外光源

书籍简介:

本书以放电等离子体技术为基础，以极紫外光刻光源为应用背景，系统的介绍了放电等离子体极紫外光源，主要包括放电等离子体极紫外光源的应用背景和发展现状、极紫外光谱和放电Z箍缩的理论分析、实现高功率输出极紫外光源的理论和实验条件，进行了大量的数值仿真和物理实验，分析了影响光源功率输出的典型参数；对高重复频率极紫外光源的关键部件和系统结构也进行了简要的介绍。

书籍规格:

书籍信息归属:

放电等离子体极紫外光源是东北林业大学出版社于2016.6出版的中图分类号为 O434.1 的主题关于 等离子体－应用－X射线光谱学－研究 的书籍。