书籍简介:

本书以放电等离子体技术为基础，以极紫外光刻光源为应用背景，系统的介绍了放电等离子体极紫外光源，主要包括放电等离子体极紫外光源的应用背景和发展现状、极紫外光谱和放电Z箍缩的理论分析、实现高功率输出极紫外光源的理论和实验条件，进行了大量的数值仿真和物理实验，分析了影响光源功率输出的典型参数；对高重复频率极紫外光源的关键部件和系统结构也进行了简要的介绍。

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书籍详细信息
书名	放电等离子体极紫外光源站内查询相似图书
	9787567408456 如需购买下载《放电等离子体极紫外光源》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	哈尔滨	出版单位	东北林业大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	22.0	语种	简体中文
尺寸	23 × 17	装帧	平装
页数		印数

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书籍信息归属:

放电等离子体极紫外光源是东北林业大学出版社于2016.6出版的中图分类号为 O434.1 的主题关于等离子体－应用－X射线光谱学－研究的书籍。