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(美) 杰克逊 (Jackson,M.J.) , 主编
出版社:机械工业出版社
年代:2015
定价:88.0
本书是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作,既有一定的理论深度,又有足够的广度,而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工(特别是非硅基加工)技术以及纳米加工手段,结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例,阐释了这些技术的原理和特点,提出了特定问题的高效率解决方案,给出了工艺设计方面的指南,并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。
微米加工与纳米制造是机械工业出版社于2015.9出版的中图分类号为 TB303 的主题关于 纳米技术 的书籍。
何丹农, 编著
(美) 维德雷希特 (Wiederrecht,G.) , 主编
张德远, 等编著
(印) 马哈里克, 等著
(英) 里克白 (Rickerby,D.) , 主编
(美) 普拉萨德 (Prasad,P.N.) , 著
薛增泉, 编著
李士, 等编著
陈乾旺, 编著