书籍简介:

本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。本书从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、流体流动和热传递的基本规律。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用压力传感器、力学传感器和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。

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书名	硅微机械传感器站内查询相似图书
	9787308108799 如需购买下载《硅微机械传感器》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	杭州	出版单位	浙江大学出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	35.0	语种	简体中文
尺寸	23 × 17	装帧	平装
页数		印数

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书籍信息归属:

硅微机械传感器是浙江大学出版社于2012.12出版的中图分类号为 TP212.12 的主题关于传感器的书籍。