微系统设计
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微系统设计

(美) 森图里亚 (Senturia,S.D.) , 著

出版社:电子工业出版社

年代:2004

定价:46.0

书籍简介:

本书是美国麻省理工学院(MIT)Senturia教授根据自己在MIT电子工程系所讲授课程的基础上进行扩展而编写的研究生教材,已经被美国十多所大学采用(包括Stanford等著名大学)。该书系统全面地介绍了涉及微机电系统设计的方法、理论和技术,包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路和系统。全书详细介绍了利用集总参数方法、弹性力学和结构力学方法、能量分析法对MEMS器件进行建模、模拟和分析的方法,同时对微系统设计所涉及的能量耗散问题和流体力学系统、电路、噪声和封装问题等进行了分析和介绍。通过应用实例研究,详细介绍了压阻传感器、电容加速度计、静电式投影显示器件、压电陀螺、DNA放大芯片和气体传感器等器件和系统的设计和制作。

书籍规格:

书籍详细信息
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丛书名国外电子与通信教材系列
9787121004223
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出版地北京出版单位电子工业出版社
版次1版印次1
定价(元)46.0语种简体中文
尺寸26装帧平装
页数印数 5000
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书籍信息归属:

微系统设计是电子工业出版社于2004.10出版的中图分类号为 TM38 的主题关于 微电机教材 的书籍。