书籍简介:

本书是美国麻省理工学院（MIT）Senturia教授根据自己在MIT电子工程系所讲授课程的基础上进行扩展而编写的研究生教材，已经被美国十多所大学采用（包括Stanford等著名大学）。该书系统全面地介绍了涉及微机电系统设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路和系统。全书详细介绍了利用集总参数方法、弹性力学和结构力学方法、能量分析法对MEMS器件进行建模、模拟和分析的方法，同时对微系统设计所涉及的能量耗散问题和流体力学系统、电路、噪声和封装问题等进行了分析和介绍。通过应用实例研究，详细介绍了压阻传感器、电容加速度计、静电式投影显示器件、压电陀螺、DNA放大芯片和气体传感器等器件和系统的设计和制作。

书籍规格:

书籍详细信息
书名	微系统设计站内查询相似图书
丛书名	国外电子与通信教材系列
	9787121004223 《微系统设计》pdf扫描版电子书已有网友提供资源下载链接,请点击下方按钮查看
出版地	北京	出版单位	电子工业出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	46.0	语种	简体中文
尺寸	26	装帧	平装
页数		印数	5000

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书籍信息归属:

微系统设计是电子工业出版社于2004.10出版的中图分类号为 TM38 的主题关于微电机教材的书籍。