出版社:高等教育出版社
年代:2020
定价:129.0
本书集作者多年来的实践经验与研究成果,综合介绍微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。第四版在内容上反映了集成电路芯片加工技术的进步,不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是对已经有一定工作经验的专业科技人员,都具有很好的参考价值。
书籍详细信息 | |||
书名 | 微纳米加工技术及其应用站内查询相似图书 | ||
9787040543025 如需购买下载《微纳米加工技术及其应用》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息,请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
出版地 | 北京 | 出版单位 | 高等教育出版社 |
版次 | 4版 | 印次 | 1 |
定价(元) | 129.0 | 语种 | 简体中文 |
尺寸 | 24 × 17 | 装帧 | 精装 |
页数 | 印数 | 2500 |