电容式微机械超声换能器工作机理与应用基础

书籍简介:

基于MEMS技术的电容式微机械超声传感器（CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer，CMUT）具有传统压电超声传感器所不具备的显著优势，有望替代传统压电超声传感器成为市场的主流产品。针对电容式微机械超声传感器开展相关理论与应用基础研究，具有十分重要的研究价值和现实意义。

书籍规格:

书籍信息归属:

电容式微机械超声换能器工作机理与应用基础是科学出版社于2018.3出版的中图分类号为 TP212.4 的主题关于 超声波传感器－研究 的书籍。