书籍简介:

本书利用CVD动态分析系统，以MTS/H2体系为对象，通过建立化学反应模型，探索了气相沉积碳化硅的机理。

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	9787536948648 如需购买下载《化学气相沉积碳化硅的规律研究》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地	西安	出版单位	陕西科学技术出版社
版次	1版	印次	1
定价(元)	30.0	语种	简体中文
尺寸	26 × 19	装帧	平装
页数		印数	1000

化学气相沉积碳化硅的规律研究是陕西科学技术出版社于2010.7出版的中图分类号为 TB321 ,TF111.34 的主题关于化学气相沉积－碳化硅陶瓷的书籍。